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產品中心

PRODUCTS CNTER

當前位置：首頁產品中心低溫和探針臺顯微冷熱臺MHS400V-4P探針冷熱臺

MHS400V-4P探針冷熱臺

產品簡介

MHS400V-4P探針冷熱臺是一款專門針對半導體芯片研發、測試而設計的產品。這款探針冷熱臺擁有高精度的探針位移平臺，具有良好的真空性能和精準的溫控系統。

產品型號：
更新時間：2025-12-25
廠商性質：生產廠家
訪問量：605
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  • 溫度范圍： -196℃~600℃

  • 加熱區： φ30mm

  • 探針行程： 14mm

  • 探針位移精度 1μm

  • 探針針尖直徑（默認） 100μm

  • 物鏡工作距離： 15mm

  • 通光孔直徑： 2mm

  • 最大升溫速率： 150℃/min

  • 最慢升溫速率：0.1℃/min

  • 觀察窗： φ40mm

  • 溫控精度： 0.1℃

  • 極限真空： 1pa（機械泵）,5×10^(-3)pa(分子泵)

  • 支持反射/透射模式

型號MHS300V-4PMHS400V-4PMHS600G-4P
溫控模塊加熱/制冷方式電阻加熱，液氮制冷
溫控范圍-190~300°C*-190~400°C*-190~600°C*
溫度穩定性±0.1°C
溫度分辨率±0.1°C
最大升溫速率0~100°C/min (可定點/程序段控溫)
溫控方式PID
溫度傳感器PT100
光學特性光路反射/透射光路（可選）
視窗材質石英玻璃*
視窗尺寸φ40mm*
視窗厚度0.5mm*
物鏡工作距離15mm*
透光孔φ2mm*
電學特性探針移動探針模組x4 *,手動調整XYZ
探針行程13mm
探針位移精度1μm
探針接口SMA 接口x4*
探針直徑10 / 50 / 100 μm*
結構特性樣品臺尺寸φ30mm*
樣品臺材質純銀*
外形尺寸180x112x26*
樣品腔高度3mm*
腔室氣密
外殼冷卻循環水
基本配置冷熱臺x1、溫控系統x1、低溫系統x1、液氮罐2Lx1、溫控軟件
選配電腦主機/平板電腦/觸控屏/安裝支架/真空系統/其他定制
備注以上為默認參數  * 為可定制項
其他可選型號按需求進行配置


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